- Ionisation des Behandlungsmediums im elektrischen Feld
 (unter
Vakuum)
- Ladungsträger werden entsprechend auf Anode oder
Katode
beschleunigt:
- auftreffende Ionen bewirken ein Feinreinigen der Werk-
stückoberflächen,
letzte anhaftende Verunreinigungen
werden
entfernt (Sputtern).
- Ionen durchdringen die Werkstückoberfläche,
werden im
Randbereich
eingelagert und stehen sofort für die Diffusion
ins Werkstückinnere
zur Verfügung
- durch Aufprall der Ionen werden die Werkstücke
aufgeheizt
- auftreffende Ionen reagieren mit Werkstückoberfläche,
herausgelöste
Teilchen reagieren mit dem Behandlungs-
medium
und können sich wieder abscheiden. |
